外媒传出消息:我国自主研发的 EUV 光刻机,有望在今年第三季度进入试生产阶段宇轩配资,2026 年可以量产。外媒的消息靠谱吗?查了一下,发现并不是空穴来风,反而藏着一连串让人心振奋的 “国产突破实锤”。
最先官宣好消息的是哈工大。他们研发的 “放电等离子体极紫外光刻光源” 项目,一举拿下了黑龙江科技创新成果转化大赛一等奖。这正是被称作 “光刻机心脏” 的极紫外光源技术,过去这项技术长期被国外垄断,如今国产团队能啃下这块硬骨头,相当于给国产 EUV 光刻机装上了 “核心引擎”。
不止哈工大,中科院也在 EUV 技术赛道上跑出了 “加速度”。中科院团队,另辟蹊径,成功开发出 LPP-EUV 光源。这项技术已经达到了国际领先水平,这意味着咱们不仅打破了技术壁垒,还在部分领域实现了 “弯道超车”宇轩配资,不用再跟着别人的节奏走。
但是,EUV 光刻机不是 “单靠一个光源就能跑起来” 的设备,目前还有几道坎 没完全跨过去:比如高精度光学系统的调校、超净真空环境的稳定控制,尤其是光学多层反射镜的制造与系统集成,这一块,德国蔡司公司至今仍占据领先地位。
ASML的高管在今年初断言,虽听说中国在 EUV 替代技术上有进展宇轩配资,但要真正造出 “成熟可用的先进 EUV 光刻机”,“仍需要很多年时间”。话不好听却点出了现实:EUV 技术的突破从来不是 “单点胜利”,而是 “系统攻坚”。
不过,这并不影响 “2025 年三季度试产” 的预期。在光源效率、晶圆产能这两个关键指标上,咱们已经拿出了实实在在的进展,试产不是喊口号,而是基于技术突破和产业准备的硬底气。当然,从 “试产” 到 “稳定量产”,中间还有不少坎要迈:光学元件的制造精度得再提一提,设备集成的流畅度得再磨一磨,良率控制的稳定性也得再优化,但至少,咱们已经迈出了最关键的 “第一步”。
光刻机是 “工业皇冠上的明珠”,过去这么多年,这颗 “明珠” 一直被国外攥在手里,我国芯片制造的 “命脉” 也受牵制。一旦国产 EUV 光刻机真能实现量产,相当于咱们亲手摘下了这颗 “明珠”,芯片领域的 “卡脖子” 困境,就能真正破解。中国芯片人一直在用行动证明一件事:世上没有越不过的技术壁垒,也没有解不开的 “卡脖子” 难题。
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